型号

工作台面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

角度(θ)

水平负载能力 (kgf)

反复定位精度(um)

GAS01-250CC

250x250

350x350

±5x±5

±3°

80

UP：±1 
P：±5

GAS01-250RS

250x250

350x350

±5x±5

±3°

100

UP：±1 
P：±5

GAS01-350CC

350x350

450x450

±5x±5

±2°

80

UP：±1 
P：±5

GAS01-350RS

350x350

450x450

±5x±5

±2°

100

UP：±1 
P：±5

♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，实现了超薄型结构。

♦ 高刚性、高精度

对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。

♦ 超薄型、轻量化、中空结构

採用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

♦ 润滑系统

在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。

♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用

工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。